[Казбек]

sjsdjsoiq,
Я, кажется, знаю, в чем ваша проблема. Process Monitor использует перехват системных вызовов. Подобную технологию используют некоторые руткиты. Понимаете, о чем я?? Если вы используете какое-то защитное ПО, то, вполне может быть, что оно препятствует правильной роботе программы. Я использую Comodo. Я попытался промониторить процесс загрузки системы. Программа создала лог файл. Но.... При попытке открыть созданный файл я получил такую же ошибку, как у вас.
Решение: временно отключите установленное у вас защитное ПО, не только отключите процесс в автозагрузке, но и остановите все сервисы, связанные с ним.