Как вариант:
Код:

Set fso = CreateObject("Scripting.FileSystemObject")
Set RegFile = fso.CreateTextFile("ProcKiller.bat", true)
RegFile.WriteLine("taskkill /F /IM Дочерний_процесс_2.exe /T")
RegFile.WriteLine("taskkill /F /IM ДОЧЕРНИЙ.EXE /T")
RegFile.WriteLine("taskkill /F /IM дочерний.exe /T")
RegFile.WriteLine("taskkill /F /IM Программа.EXE /T")
RegFile.WriteLine("del " & chr(34) & "%~f0" & chr(34))
RegFile.Close
CreateObject("WScript.Shell").Run "ProcKiller.bat", 0, False
.