denis52261, запускаете FileMon, жмете Ctrl+L (или заходите в меню "Опции - Фильтр/Выделение") и в строке "Включить" вводите имя инсталлятора (например, "Setup.exe"). Потом запускаете инсталлятор, не закрывая при этом FileMon. После установки программы сохраняете лог FileMon'а и по нему отыскиваете файлы
